X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無標(biāo)半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準(zhǔn)確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。
X射線熒光光譜儀工作原理介紹
用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。下是這兩類儀器的原理圖。
用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。下圖是這兩類儀器的原理圖。
X射線熒光光譜儀分析的一般步驟是：選擇分析方法，樣品制備，儀器參數(shù)選擇與校準(zhǔn)曲線的制作，試樣分析。
SuperQ是Axios系列X 射線熒光光譜分析儀的主操作軟件，控制光譜儀的運(yùn)行和定性定量分析數(shù)據(jù)的處理。SuperQ先匯編各測量參數(shù)，再依次檢查光學(xué)電學(xué)條件、校正系數(shù)，zui后自動匯編建成定性或定量分析測量程序。
Omnian以全程掃描為定性分析的基礎(chǔ)，用13個合成的參考樣品建立掃描程序獲得的測量強(qiáng)度，以此作為定量分析的依據(jù)；適用于分析范圍很寬的固體、粉末和液體試樣的快速無標(biāo)樣近似定量（半定量）分析。
