X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測(cè)樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線），探測(cè)器對(duì)X熒光進(jìn)行檢測(cè)。
X射線熒光光譜儀的核心結(jié)構(gòu)為激發(fā)源和探測(cè)器，其中，激發(fā)源是激發(fā)元素產(chǎn)生特征X射線的構(gòu)件，有帶電粒子激發(fā)、電磁輻射激發(fā)、內(nèi)轉(zhuǎn)換現(xiàn)象和核衰變等方式，而常用的激發(fā)源是電磁輻射激發(fā)，探測(cè)器是將X射線熒光的能量和強(qiáng)度轉(zhuǎn)化成一定形狀和數(shù)量的電脈沖，實(shí)質(zhì)上就是一個(gè)能量→電量的傳感器，常用的探測(cè)器有正比計(jì)數(shù)器、閃爍計(jì)數(shù)器和半導(dǎo)體計(jì)數(shù)器。
優(yōu)點(diǎn)有哪些？
1)分析時(shí)間短。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。
2)適用范圍廣。X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定 。
3)非破壞分析，重現(xiàn)性好。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
4)X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
5)分析精密度高。
6)制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
