全元素光譜分析儀主要由激光器、光譜儀、探測(cè)器和時(shí)序控制器等核心單元組成，典型的LIBS檢測(cè)系統(tǒng)。其中，激光器為等離子體的激發(fā)源，在樣品表面激發(fā)產(chǎn)生等離子體后，其發(fā)射光被光收集器采集，并通過光纖傳輸?shù)焦庾V儀形成元素的特征光譜，再由探測(cè)器對(duì)光譜信息進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，由計(jì)算機(jī)對(duì)光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)、處理和顯示。
全元素光譜分析儀的構(gòu)成：
一臺(tái)光譜儀主要由一個(gè)光學(xué)平臺(tái)和一個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)組成。包括以下幾個(gè)主要部分：
1.入射狹縫：在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點(diǎn)。
2.準(zhǔn)直元件：使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄狻Ｔ摐?zhǔn)直元件可以是一獨(dú)立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3.色散元件：通常采用光柵，使光信號(hào)在空間上按波長(zhǎng)分散成為多條光束。
4.聚焦元件：聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點(diǎn)對(duì)應(yīng)于一特定波長(zhǎng)。
5.探測(cè)器陣列：放置于焦平面，用于測(cè)量各波長(zhǎng)像點(diǎn)的光強(qiáng)度。該探測(cè)器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測(cè)器陣列。
全元素光譜分析儀的優(yōu)勢(shì)：
1、測(cè)試元素多，可測(cè)70余種元素。
2、多元素同時(shí)測(cè)試，一次進(jìn)樣所有元素同時(shí)測(cè)試。
3、分析速度快，每分鐘約5個(gè)元素，*快測(cè)試速度可到每分鐘10個(gè)元素。
4、檢出限低，絕大多數(shù)元素可達(dá)ppb級(jí)。
5、線性范圍寬，可達(dá)5-6個(gè)數(shù)量級(jí)，可以實(shí)現(xiàn)高低含量同時(shí)測(cè)試，無需更換標(biāo)準(zhǔn)曲線。
6、化學(xué)干擾少。
